ICS 17.180.30 N 33 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T195002004 X射线光电子能谱分析方法通则 General rules for X-ray photoelectron spectroscopic analysis method 2004-04-30发布 2004-12-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T19500—2004 目 次 前言 范围 规范性引用文件 2 3 术语和定义 方法原理 4 3 5 仪器 样品 6 5 7 分析步骤 8 分析结果的表述 GB/T 19500—2004 前言 本标准提出单位：全国微束分析标准化委员会。 本标准归口单位：全国微束分析标准化委员会。 本标准负责起草单位：北京大学化学与分子工程学院 本标准主要起草人：黄惠忠 本标准参加起草人：曹立礼、赵良仲、王亦曼、吴文辉、沈电洪、朱永法、刘 厂芬、于广华、吴正龙。 GB/T19500—2004 X射线光电子能谱分析方法通则 1 范围 本标准规定了X射线光电子能谱（XPS，X-rayPhotoelectronSpectroscopy或ESCA，Electron SpectroscopyforChemicalAnalysis）的一般表面分析方法以及相关的表面化学分析术语的含义，适用 于X射线光电子能谱仪。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 JJG013一1996电子能谱计量检定规程 3术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3. 1 定量分析 quantitative analysis 对样品中被分析物数量的确定。 注1：分析物可以是天然的元素或化合物。 注2：数量可表示为原子或质量百分数、原子或质量分数、每单位体积的摩尔或质量、每单位面积的（原子）数、每单 位体积的（原子）数或按要求所设 注3：样品材料可能是非均匀的，因此在解释中要应用特定的模型结构，并且需说明该模型的细节 3. 2 电子减速 electron retardation 在电子能量分析器前或分析器内使电子运动速度降低后测定动能分布的方法。 3. 3 峰-本底比 peak-to-background ratio 本底强度以上峰的最大高度与本底高度之比。 注：需给出测定本底的方法。 3. 4 峰宽或线宽 peak width or line width 在峰高度某个确定的分数处的峰的宽度。 注1：应说明所用的扣除本底方法， 注2：最通用的峰宽测量是取在最大峰高一半处峰的宽度。 注3：对不对称峰而言，简便的测量是取在峰的每侧最大强度一半处的宽度。 3.5 飞离角take -off angle 光电子在其离开固体表面时的轨迹和该处或平均表平面之间的角度。 注1：需要给定特定的表平面。 注2：飞离角与发射角互为余角。 注3：从前，飞离角有时被错误地意指为发射角。 1 GB/T19500—2004 3. 6 峰面积peakarea 谱图中扣除本底后峰所包含的面积。 参照：非弹性电子散射本底扣除。 3.7 非弹性电子散射本底扣除inelastic electron scatteringbackground subtraction 校正非弹性电子散射对本底贡献的方法。 注：常用模拟峰本底的方法估计，估计时假定本底上升是线性的或正比于较高动能处的峰面积，如同Shirley本底那 样。更精确的校正方法是解叠分别测量的电子能量损失谱。 3. 8 固定分析器能量方式 constantEmode;constant analyzer energy mode;CAEmode;fixed analyzer transmission mode;FAT mode 电子能量分析器的一种工作方式。该方式改变电子减速电位，但电子通过分析器色散的能量保持 不变。 注：XPS中常用的方式，此时在收谱期间能量分辨率高且保持不变 3. 9 光电效应 photoelectriceffect 光子与原子、分子和固体中束缚电子的相互作用，导致光电子的生成。 3.10 光电发射photoemission 由光电效应引起原子或分子中的电子发射。 3. 11 结合能binding energy 将特定能级上的电子移到固体费米能级或移到自由原子或分子的真空能级所需消耗的能量。 3. 12 计数 counts S2C 在一定时间内检测器系统记录到的脉冲总数。 注：计数可以不同方式表示，对粒子数一一检测时（计数测量中没有死时间损失），遵从泊松（Poisson）统计（除存在 其他噪声源外），或简单地正比于检测粒子数，故需要明确说明计数方式。 3.13 每通道能量（步长） energy per channel 能谱中相邻通道(即收谱时的最小能量范围)间的能量差。 3.14 能量分辨率energyresolution 对单能量粒子而言，是所测能量分布最大高度一半处的全宽（FWHM)。 3. 15 通能pass energy 电子能量分析器能量色散部分中被检测电子的平均动能。 3.16 特征X射线characteristicX-rays 由离子化原子发射出的光子，它具有特定的能量分布和具有不同原子序数和化学环境的强度特征。 注：在XPS中，这个术语通常应用于激发样品中光电子的X射线源 2