ICS 27.010 CCS F01 15 内 蒙 古 自 治 区 地 方 标 准 DB15/T 2234—2021 直拉单晶硅单位产品能源消耗限额 The norm of energy consumption per unit products of the czochralski monocrystalline silicon 2021-07-23 发布 2021-08-23 实施 内蒙古自治区市场监督管理局 发 布 DB15/T 2234—2021 目 次 前言 ................................................................................. II 1 范围 ............................................................................... 1 2 规范性引用文件 ..................................................................... 1 3 术语和定义 ......................................................................... 1 4 能耗限额等级 ....................................................................... 1 4.1 单晶硅棒单位产品能耗 ........................................................... 1 4.2 单晶硅片单位产品能耗 ........................................................... 1 4.3 切割方式修正系数 ............................................................... 2 5 技术要求 ........................................................................... 2 6 计算范围和计算方法 ................................................................. 2 6.1 计算范围 ....................................................................... 2 6.2 计算方法 ....................................................................... 3 7 节能措施 ........................................................................... 5 7.1 管理节能措施 ................................................................... 5 7.2 技术节能措施 ................................................................... 5 附录 A(资料性) 各种能源折标准煤参考系数表 ........................................... 6 附录 B(资料性) 各种耗能工质折标准煤参考系数表 ....................................... 7 I DB15/T 2234—2021 前 言 本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件由内蒙古自治区发展和改革委员会、内蒙古节能协会提出。 本文件由内蒙古自治区发展和改革委员会归口。 本文件起草单位:内蒙古碳环智能科技有限公司、内蒙古节能协会、内蒙古自治区质量和标准化研 究院、内蒙古自治区节能监察中心。 本文件主要起草人:高雪梅、沈雁、杜启超、张月峰、达尔汗、程飞扬、王子墨、李宝佳、贾向春、 张丽、程远、付海欣。 II DB15/T 2234—2021 直拉单晶硅单位产品能源消耗限额 1 范围 本文件规定了直拉单晶硅(以下简称单晶硅)单位产品能源消耗(以下简称能耗)限额等级、技术 要求、计算方法、计算范围、节能措施。 本文件适用于采用直拉法生产单晶硅企业的直拉单晶硅单位产品能耗的计算、考核,以及对新建(改 扩建)项目的能耗控制。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件, 仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本 文件。 GB 17167 用能单位能源计量器具配备和管理通则 GB/T 23331 能源管理体系 要求及使用指南 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 综合电单耗 unit total electrical energy consumption 生产单位合格产品的综合电能源量消耗,是工艺电单耗与工艺产品辅助电能消耗及损耗分摊量之和。 4 能耗限额等级 4.1 单晶硅棒单位产品能耗 单晶硅棒单位产品能耗限额见表1,其中1级能耗最低。 表1 单晶硅棒单位产品能耗等级指标 产品名称 单晶硅棒 指标 能耗限额等级 1级 2级 3级 综合电单耗(kW·h/kg-Si) ≤35 ≤40 ≤45 综合能源单耗(kgce/kg) ≤4.40 ≤5.03 ≤5.65 4.2 单晶硅片单位产品能耗 单晶硅片单位产品能耗限额见表2,其中1级能耗最低。 1 DB15/T 2234—2021 表2 单晶硅片单位产品能耗等级指标 产品名称 单晶硅片 规格 指标 185mm× 185 mm 能耗限额等级 1级 2级 3级 综合电单耗(万 kW·h/万片) ≤0.30 ≤0.34 ≤0.39 综合能源单耗(kgce/万片) ≤300 ≤320 ≤340 注:硅片切割工序单位产品综合能耗限定值=基础值×切割方式修正系数。 4.3 切割方式修正系数 切割方式修正系数见表3。 表3 切割方式修正系数 切割方式 单向切割 双向切割 修正系数 1.0 0.7 5 技术要求 5.1 现有直拉单晶硅生产企业单晶硅棒产品能耗限额应符合表 1 中 3 级指标要求,单晶硅片产品能耗 限额应符合表 2 中 3 级指标要求。 5.2 新建直拉单晶硅生产企业或改扩建项目,单晶硅棒产品能耗限额应符合表 1 中 2 级指标要求,单 晶硅片产品能耗限额应符合表 2 中 2 级指标要求。 5.3 现有直拉单晶硅生产企业,应通过改造和加强管理达到能耗先进水平,单晶硅棒产品能耗应符合 表 1 中 1 级指标要求、单晶硅片产品能耗应符合表 2 中 1 级指标要求。 6 计算范围和计算方法 6.1 计算范围 6.1.1 单晶硅棒生产工序 从硅料开始到制备出单晶硅成品为止。包括从洗料、拉单晶、截断、开方、制冷、供排水及辅助设 备等所有能源消耗量。 6.1.2 硅片生产工序 从单晶硅方棒开始到单晶硅硅片为止。包括从单晶硅方棒滚磨、切片、清洗、废液排放及辅助设备 等所有能源消耗量。 6.1.3 公用工程及辅助工序 包括纯水系统、循环水、制氩、空调、水源及中央控制系统等所有能源消耗量。 6.1.4 各种能源(包括生产耗能工质消耗的能源)折算标准煤量方法 2 DB15/T 2234—2021 各种能源的计量单位如下: a) 应用基于发热量等于 29.3076 MJ 的燃料,即 l kgce; b) 各种能源及耗能工质消耗量在折算标准煤量时,外购的燃料能源可取实测的低(位)发热量 或供货单位提供的实测值为计算基础,或用国家统计部门的折算系数折算,参见附录 A; c) 二次能源及耗能工质均按相应的能源等价值折算(电用当量值); d) 企业能源转换自产时,按实际投入的能源实物量折算标准煤量; e) 由集中生产单位外销供应时,其能源等价值按主管部门规定; f) 外购外销时,其能源等价值应相同;当未提供能源等价值时,可按国家统计部门的折算系数 折算,参见附录 B; g) 企业回收的余热按热力的折算系数,余热发电统一按电力的折算系数折算。 6.1.5 各种能源的计量单位 各种能源的计量单位如下: a) 产品工序能耗、产品综合能耗的单位:kgce(千克标煤); b) 煤炭、焦炭、重油、汽油、柴油的单位:kg(千克) 、t(吨); c) 电力的单位: kW·h(千瓦小时) ; d) 蒸汽的单位: kJ (千焦) 、MJ (兆焦) 、GJ (百万千焦)、t(吨,需指明温度与压强) ; e) 压缩空气、氧气、天然气、氩气的单位: m³ (立方米)、104 m³(万立方米) ; f) 水的单位:t(吨) ; g) 单晶硅综合能源单耗的单位:kgce/kg-Si(千克标煤/千克) 。 6.2 计算方法 6.2.1 产品(工序)综合能耗的计算 某种产品(工序)综合能耗等于其主要生产系统消耗的各种能源及耗能工质折算为标准煤量加辅助 生产系统、附属生产系统以及能源损失量按能耗比例法分摊的能源消耗量,按公式(1)计算: Ezi Esi E fz E fs Ess i .............................................(1) n i 1 (Wn kn ) si E fz E fs Ess i n i 1 式中: Ezi—i种产品(工序)综合能耗,单位为千克标准煤 (kgce); Esi—i种产品(工序)主要生产系统消耗的各种能源及耗能工质折算为标准煤量,单位为千克标准 煤 (kgce); Wn—i种产品(工序)主要生产系统消耗的第n种能源(耗能工质)实物量,单位为实物量单位; kn—第n种能源(耗能工质)折标准煤系数; n—i种产品(工序)主要生产系统消耗的能源(耗能工质)种数; ξi—i种产品(工序)能耗分摊系数。 6.2.2 能耗分摊系数的计算 3 DB15/T 2234—2021 辅助生产系统、 附属生产系统的综合能耗和能源损失量分摊到i种产品(工序)上的比例系数,是 i种产品(工序)主要生产系统综合能耗与
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