ICS 31.080.99 CCSL59 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42158—2023/IEC62047-26:2016 微机电系统（MEMS）技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 Micro-electromechanicalsystemstechnology(MEMS)Descriptionand measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures (IEC62047-26:2016,Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices- Part 26:Description and measurement methods for micro trench and needle structures,IDT) 2023-03-17发布 2023-07-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会

GB-T 42158-2023 微机电系统 MEMS 技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

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