ICS 31.260 CCS L97 中华人民共和国国家标准 GB/T44375—2024 300mm半导体设备装载端口要求 Requirements for load ports of 3oO mm semiconductor equipment 2024-08-23 发布 2025-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T44375—2024 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 要求 4.1 接口尺寸要求 4.2 装载端口配置选项 4.3 装载端口排序规则 4.4 晶圆承载器装载/卸载尺寸要求 4.5 感应地面搬运系统的光电传感器安装位置尺寸要求 4.6 ID读取器专属空间尺寸要求 4.7 晶圆承载器取放机构专属空间尺寸要求

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