ICS 23.160 J78 中华人民共和国国家标准 GB/T 36176—2018 真空技术 氮质谱真空检漏方法 Vacuum technologyVacuum leak testing method by helium mass spectrometer 2018-12-01实施 2018-05-14发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 36176—2018 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 一般要求 4 4.1 人员资格 4.2 设备要求 4.3 氨气 4.4 环境要求 5检漏方法 5.1 喷吹法 5.2 氨罩法 5.3 压力-真空检漏法 6检漏文件· 11 6.1 检漏记录 11 6.2 检漏报告 附录A（规范性附录） 检漏记录 12 附录B（规范性附录） 检漏报告 13 GB/T36176—2018 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、宁波莱宝真空自动化技 术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所， 本标准主要起草人：王勇、孟冬辉、孙立臣、闫荣鑫、史纪军、黄文平、王国东、胡眉、任国华、孙伟、 邵容平、陆鸣、张春元、窦仁超、言继春、王功发、言文静、彭光东、孙刚、孙威、景嘉荣、李斌、王玲玲。 Ⅲ GB/T36176—2018 真空技术氮质谱真空检漏方法 1范围 本标准规定了氮质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的质谱真空检漏方法在应用对象、 系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3163真空技术术语 GB/T4844纯氨、高纯氨和超纯 S7C GB/T9445无损检测人员资格鉴定与认证 GB/T12604.7无损检测术语泄漏检测 GB/T13979质谱检漏仪 3 术语和定义 GB/T3163和GB/T12604.7界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 等待时间 Jwaiting time 两次测试的间隔时间。 3.2 leak testing sensitivity 检漏灵敏度 Qemin 在具体的工作条件下，检漏系统所能检出的最小漏孔漏率。 3.3 喷吹法 去sprayprobemethod 用喷枪喷出已知浓度的氮气束在被检件的表面扫描进行的氮质谱检漏方法。 3.4 氮罩法 heliumhood method 将被检件部分或全部罩住，罩内充人已知浓度的氮气进行的氮质谱检漏方法。 3.5 压力-真空检漏法 pressure-vacuum chamber method 将充人气的被检件放人真空室内抽至规定的真空度，在压差作用下，氮气通过漏点进入真空室而 被检漏仪测试的方法。 3.6 吸枪法 去sniffingprobemethod 被检件充人一定压力的氨气，用与氨质谱检漏仪相连的吸枪嗅探被检件表面漏出氨气的方法。 1 GB/T36176—2018 4一般要求 4.1 人员资格 检漏人员应经相关的培训、考核后上岗，对于特殊行业，需满足GB/T9445中关于无损检测人员的 要求。 4.2 设备要求 设备要求如下： a） 氮质谱检漏仪应满足GB/T13979规定的技术要求； b) 检漏系统的检漏灵敏度应优于被检件允许漏率要求的十分之一。 4.3 3氨气 所用氨气应满足GB/T4844纯氨级的要求。 4.4 环境要求 无特殊要求时，环境要求如下： 检漏工作场地温度为16℃~30℃，相对湿度不大于80%； b) 检漏工作场地应清洁，通风良好； c) 检漏工作场地附近应无强磁场干扰，无较大的振动。 检漏方法 5.1 喷吹法 5.1.1 应用对象 喷吹法主要用于对被检件的漏点定位和定量。 5.1.2系统组成 喷吹法检漏系统的组成原理如图1、图2和图3所示。 2 GB/T 36176—2018 0 说明： 一氨质谱检漏仪： 校准漏孔； 2- 一被检件； 5——氨喷枪； 3校准阀； 图1检漏仪作为抽气系统的喷吹法检漏系统 3 L8 7 说明： 氨质谱检漏仪； 5——氮喷枪； 2- 一被检件； 6——气瓶； 校准阀； 3- 7 真空阀： 校准漏孔； 8—真空泵。 图2抽气系统配置真空泵的喷吹法检漏系统 3 GB/T 36176—2018 0 X X L10 说明： 气瓶； 氨喷枪； 2 3 被检件； 校准阀； 校准漏孔； 5 主泵； 真空阀； 检漏阀； 9 检漏仪； 10- 辅助泵。 图3抽气系统配置主泵及辅助泵的喷吹法检漏系统 5.1.3检漏程序 5.1.3.1 检漏准备 检漏准备过程如下： 仪器准备。将氢质谱检漏仪、辅助真空系统、阀体、管路、喷枪、校准漏孔等准备好，其中，校准 漏孔需经计量机构校准，并在有效期内； b) 被检件的预处理。清理被检件的内外表面，确保被检件的内外表面没有油污以及多余物等， 表面干燥； c） 将仪器设备按图1或图2或图3连接，保证连接的部位有较好的密封； (P 校准漏孔需连接在被检件上，并且尽可能远离氨质谱检漏仪，对于被检件上不能直接连接校 准漏孔的，可以通过管路系统连接校准漏孔； e) 配好已知浓度的氨气。 5.1.3.2 实施过程 5.1.3.2.1 抽真空 利用氨质谱检漏仪对被检件抽真空。若被检件容积较大，需利用辅助真空系统对被检件进行抽真 4