ICS 31.200 L 55 中华人民共和国国家标准 GB/T35086—2018 MEMS电场传感器通用技术条件 General specification for MEMS electric field sensor 2018-12-01实施 2018-05-14发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 35086—2018 目 次 前言 范围 1 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 原材料 5 传感器组成 6 技术要求 7 试验项目和方法 8 检验规则 10 6 标志、包装、储存和运输 12 GB/T35086—2018 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草， 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336)提出并归口。 本标准起草单位：中国科学院电子学研究所、中机生产力促进中心、西安西谷微电子有限责任公司。 本标准主要起草人：夏善红、彭春荣、李海斌、郑凤杰、程红兵、朱悦、白巍 Ⅲ GB/T350862018 MEMS电场传感器通用技术条件 1范围 本标准规定了MEMS电场传感器（以下简称“传感器”）的原材料、结构组成、技术要求、试验项目和 方法、检验规则、包装、存储和运输。 本标准适用于MEMS电场传感器的研制、生产和采购。其他类型的电场传感器可参照使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191包装储运图示标志 GB/T2423.1一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温 GB/T2423.2一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温 GB/T2423.4 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Db交变湿热（12h十12h循 环) GB/T 2423.5 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ea和导则：冲击 GB/T 2423.10 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦） GB/T 2423.16 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验J及导则：长霉 GB/T 2423.17 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ka：盐雾 GB/T 2423.21 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验M：低气压 GB/T 2423.22- 2012环境试验第2部分：试验方法试验N：温度变化 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T17626.2—2006电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验 GB/T184592001 传感器主要静态性能指标计算方法 GB/T26111微机电系统（MEMS)技术术语 3术语和定义 5ZK GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 MEMS电场传感器 MEMS electric field sensor 敏感元件采用微机电系统（MEMS）技术制造，能感受电场强度并可转换成可用输出信号的传 感器。 4原材料 除另有规定外，传感器所用的原材料应具有合格证。 1 GB/T35086—2018 5传感器组成 传感器一般由MEMS电场敏感元件和信号处理电路等组成，传感器结构分为一体式和分体式两种 形式。 6 技术要求 6.1 总则 传感器的技术要求应符合本标准的规定。如有其他规定，可由供需双方协商解决 6.2 基本性能 6.2.1 测量范围 传感器测量范围的上、下限值的绝对值应从下列数值中选取： a) 下限绝对值：0V/m、10V/m、20V/m.50V/m、100V/m200V/m、300V/m、400V/m、 500V/m.1000V/m; b) 上限绝对值：2kV/m、5kV/m、10kV/m、20kV/m，30kV/m50kV/m、100kV/m、 200kV/m。 6.2.2 零点输出 传感器的零点输出（以满量程输出的百分比表示）应不大于土2% 注：如果传感器测量范围不包括零电场时，则本标准所指零点为测量范围下限值（绝对最小值）。 6.2.3满量程输出 传感器的满量程输出应符合产品设计要求。 6.2.4线性度 传感器的线性度应不大于10%。 6.2.5重复性 传感器的重复性应不大于10%。 6.2.6迟滞（回差） 传感器的迟滞应不大于10%。 6.2.7准确度 传感器的准确度应不大于15% 注：本标准中，传感器的准确度是指在参比工作条件下，线性度加回差加重复性的一种组合，表示实际特性相对于 其参比工作特性的偏差皆不超过的一个极限范围 6.2.8分辨力 传感器的分辨力应不大于500V/m。 2 GB/T35086—2018 6.2.9灵敏度 传感器的灵敏度输出应符合产品设计要求。 6.2.10 零点漂移 传感器的零点漂移应不大于15%。 6.2.11满量程漂移 传感器的满量程漂移应不大于15%。 6.2.12热零点漂移 传感器的热零点漂移应不大于0.2%/℃。 6.2.13功耗 传感器的功耗应不大于1W。 6.2.14响应时间 传感器的响应时间应不大于1s。 6.3电气性能 6.3.1绝缘电阻（规定时） 按7.6.1规定进行试验，传感器的绝缘电阻应不小于100MQ（直流100V）。 6.3.2介质耐电压（规定时） 按7.6.2规定进行试验，施加电压为直流500V，持续时间60s，传感器应无机械损伤、飞弧、电迁移 或击穿现象。 6.4环境适应性 按7.7规定进行试验，传感器外观应符合6.6的规定；零点输出应符合6.2.2的规定；绝缘电阻应符 合6.3.1的规定。 6.5寿命 按7.8规定进行试验，传感器试验时间：探空一次性使用时96h，其他使用时1000h。 试验过程中，传感器零点输出应符合6.2.2的规定；线性度应符合6.2.4的规定；准确度应符合6.2.7 的规定。 6.6外观 传感器的外观应无明显损伤、无锈斑；零部件无松动和脱落；标志应清晰、完整、正确 6.7外形和安装尺寸 当一个详细规范中包含多种外形时，应尽可能给出全部型号的外形尺寸，并至少给出一种典型的外 形图。 3 GB/T35086—2018 6.8重量 传感器的重量可由用户和供应商协商确定。 6.9 电磁兼容 除另有规定外，传感器应进行静电放电抗扰度试验，满足GB/T17626.2一2006规定试验等级的 4级的要求。 7 试验项目和方法 7.1 试验环境条件 SAC 除另有规定外，所有检验应在标准大气条件下进行： a） 温度：15℃~35℃； b) 相对湿度：25%~75%； c) 气压：86kPa~106kPa。 7.2测试系统 测试系统主要由供电电源、传感器、标准电场箱、控制 与检测装置组成，见图1。标准电场箱内产生 可调均勾电场，传感器测试时放置在标准电场箱内部，使得传感器的被测方向与电场方向一致。 标准电场箱 电场E 控制与检测 供电电源 传感器 装置 图1 测试系统框图 7.3试验的一般规定 7.3.1证书文件 试验用的仪器设备和计量器具应具有计量检定单位签发的有效期内的检定、校准证书。 7.3.2预热时间 试验前，传感器应进行通电预热。除另有规定外，试验前通电预热15min。 7.4基本特征 7.4.1外观 目测检查传感器的外观，其结果应符合6.6的要求。 4