ICS 31.030 L 90 中华人民共和国国家标准 GB/T 37406—2019 电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的 检测方法 颗粒动态光电投影法 Detection method of degree of sphericity of spherical silica for electronic packagingParticle dynamic photoelectric projection method 2019-05-10发布 2019-12-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T37406—2019 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。 本标准起草单位：江苏联瑞新材料股份有限公司、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、汉高 华威电子（连云港）有限公司。 本标准主要起草人：曹家凯、吕福发、阮建军、王松宪、姜兵、封丽娟、李冰、陈进、夏永生、戴春明、 马涛。 1 GB/T374062019 电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的 检测方法颗粒动态光电投影法 1范围 本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉颗粒球形度、平均球形度及球形度分布的颗粒动态光 电投影测试方法。 本标准适用于4um～300m的电子封装用球形二氧化硅微粉球形颗粒 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T6678化工产品采样总则 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T15481检测和校准实验室能力的通用要求 ISO13322-2粒度分析图像分析法第2部分：动态图像分析法（Particlesizeanalysis一Image analysis methodsPart 2:Dynamic image analysis methods) 3术语和定义 SAG 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 球形度degreeof sphericity 单个粒子平面投影图像接近标准圆形的程度。 3.2 平均球形度 averagedegree of sphericity 所有颗粒球形度的平均值，反映所有颗粒接近球形的程度。 3.3 球形度分布distributionof sphericitydegree 某一球形度数值范围的颗粒数占全部已测试样品颗粒总数的百分比情况，可以得到测试样品的球 形度分布，包括球形度频率分布、上累积分布、下累积分布等。 4方法原理 4 颗粒动态光电投影法原理（见ISO13322-2）：制备好的样品置于样品分散池中，利用鞘流技术让样 品颗粒逐个缓慢通过样品池，利用光路系统中的显微镜投影机，投射得到清晰的颗粒图像（短时间内可 测量很多颗粒），然后通过图像采集，计算得出颗粒平面图像的面积、周长，然后计算出球形度、平均球形 度，并统计球形度分布。原理示意图见图1。 1 GB/T37406—2019 2 x 8 说明： 分散颗粒； 1- 2- 颗粒运动的控制设备； 3 样品池； 4——光源； 5- 光路系统； 图像采集设备； 6- 7- 图像分析仪； 一 8 显示。 图1颗粒动态光电投影法示意图 5环境条件 实验室环境条件：温度控制在20℃～25℃，相对湿度控制在80%以下。 其他实验室环境条件按照GB/T15481的要求。 6 测试仪器及试剂 6.1 仪器 所需仪器设备包括： 颗粒动态光电投影分析仪，测量范围：4μm~300μm； a) b) 具塞试管，规格10mL； c) 天平，精度0.02g； (p 超声波清洗机。 2 GB/T 37406—2019 6.2 试剂及溶液 分散剂：去离子水符合GB/T6682中分析实验室用水要求。 7 样品制备 按照GB/T6678的要求采样。从采样中称取0.5g试样，放人洁净的试管中，加入8mL去离子水 作为分散剂，然后将其放人超声波清洗机中超声分散5min。 8 分析步骤 8.1 打开颗粒动态光电投影分析仪电源，预热。 8.2 点击测试软件，输人测试信息和测试条件。 8.3 制备好的样品置于样品分散池中，开始测试。 8.4 测试结果显示所测颗粒的平均球形度、球形度分布。 9 结果计算 球形度 9.1 按式(1)计算球形度Q： 4元S Q= .(1) L2 式中： S 一—平面图像的面积，单位为平方微米（μm）； L 平面图像的周长，单位为微米（μm）。 9.2 2平均球形度 按式（2)计算平均球形度元： ...(2 ) 式中： -第i个颗粒的球形度； 测试样品中捕捉到的颗粒的数量。 n 9.3球形度分布 通过仪器软件计算，得出球形度分布。 9.4允许误差 重复测试结果允许相对误差≤3%。 10试验报告 试验报告应包括如下内容：