书 书 书犐犆犛 ３１ ． ２００ 犔 ５５ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 ／ 犜 ３４８９８ — ２０１７ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 （ 犕犈犕犛 ） /G26 /G27 犕犈犕犛 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G29 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾狊狔狊狋犲犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔 — 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狋犺犲狀狅狀犾犻狀犲犪狉狏犻犫狉犪狋犻狅狀狅犳狋犺犲犕犈犕犛狉犲狊狅狀犪狀狋狊犲狀狊犻狋犻狏犲犲犾犲犿犲狀狋 ２０１７  １１  ０１ /G36 /G37 ２０１８  ０５  ０１ /G38 /G39 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G2F /G31 /G32 /G33 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G36 /G37 目 　　 次 前言 Ⅰ ………………………………………………………………………………………………………… １ 　 范围 １ ……………………………………………………………………………………………………… ２ 　 规范性引用文件 １ ………………………………………………………………………………………… ３ 　 术语和定义 １ ……………………………………………………………………………………………… ４ 　 敏感元件非线性振动测试特性参数 １ …………………………………………………………………… ５ 　 测试方法及其选用原则 ２ ………………………………………………………………………………… 　 ５．１ 　 光学测试法 ２ ………………………………………………………………………………………… 　 ５．２ 　 电学测试法 ２ ………………………………………………………………………………………… ６ 　 敏感元件非线性振动幅频响应和相频响应测试方法 ２ ………………………………………………… 　 ６．１ 　 光学测试方法 ２ ……………………………………………………………………………………… 　 ６．２ 　 电学测试方法 ３ ……………………………………………………………………………………… ７ 　 敏感元件非线性振动频率响应弯曲系数测试方法 ４ …………………………………………………… ８ 　 敏感元件非线性跳跃振幅阈值测试方法 ５ ……………………………………………………………… ９ 　 非线性振动引起的敏感元件频率偏移测试方法 ５ ……………………………………………………… 　 ９．１ 　 自激闭环系统 、 锁相闭环系统和锁幅闭环系统的频率偏移 ５ ……………………………………… 　 ９．２ 　 间歇激励闭环系统的频率偏移 ５ …………………………………………………………………… 附录 Ａ （ 规范性附录 ） 　 敏感元件非线性振动数学模型和弯曲系数 ６ …………………………………… 附录 Ｂ （ 规范性附录 ） 　 敏感元件频率响应非线性跳跃 ９ ………………………………………………… 附录 Ｃ （ 规范性附录 ） 　 非线性振动引起的敏感元件的频率偏移 １０ ……………………………………… 犌犅 ／ 犜 ３４８９８ — ２０１７ 前 　　 言 　　 本标准按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ 给出的规则起草 。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ３３６ ） 提出并归口 。 本标准起草单位 ： 北京遥测技术研究所 、 中机生产力促进中心 。 本标准主要起草人 ： 李庆丰 、 金小锋 、 李海斌 、 朱悦 、 程红兵 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３４８９８ — ２０１７ 微机电系统 （ 犕犈犕犛 ） 技术 犕犈犕犛 谐振敏感元件非线性振动测试方法 １ 　 范围 本标准规定了谐振式传感器中 ＭＥＭＳ 谐振敏感元件 （ 以下简称敏感元件 ） 非线性振动特性参数的测试方法 。 本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试 ， 其他非 ＭＥＭＳ 敏感元件可参考使用 。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。 凡是注日期的引用文件 ， 仅注日期的版本适用于本文件 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本 （ 包括所有的修改单 ） 适用于本文件 。 ＧＢ ／ Ｔ２２９８ 　 机械振动与冲击 　 术语 ＧＢ ／ Ｔ２６１１１ 　 微机电系统 （ ＭＥＭＳ ） 技术 　 术语 ＧＢ ／ Ｔ２６１１２ 　 微机电系统 （ ＭＥＭＳ ） 技术 　 微机械量评定总则 ３ 　 术语和定义 ＧＢ ／ Ｔ２２９８ 和 ＧＢ ／ Ｔ２６１１１ 界定的以及下列术语和定义适用于本文件 。 ３ ． １ 非线性振动 　 狀狅狀犾犻狀犲犪狉狏犻犫狉犪狋犻狅狀 随着振动幅度的变化 ， 弹性恢复力与位移不成线性关系的振动 。 ３ ． ２ 非线性跳跃 　 狀狅狀犾犻狀犲犪狉犼狌犿狆 当振动系统的振动幅度超过某一阈值时频率响应曲线的跳跃现象 。 ３ ． ３ 频率偏移 　 犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犲狏犻犪狋犻狅狀 敏感元件闭环系统输出的频率相对于敏感元件固有振动频率的偏移 。 ４ 　 敏感元件非线性振动测试特性参数 敏感元件非线性振动测试的特性参数主要包括 ： ａ ） 　 非线性振动幅频响应 犃 （ ω ）， 无量纲 ； ｂ ） 　 非线性振动相频响应 犘 （ ω ）， 单位为弧度 （ ｒａｄ ）； ｃ ） 　 非线性振动幅频响应弯曲系数 犫 ， 单位为弧度每秒二次方米 （ ｒａｄ · ｓ －１ · ｍ －２ ）； ｄ ） 　 非线性跳跃振幅阈值 犪 ｃ ， 单位为米 （ ｍ ）； １ 犌犅 ／ 犜 ３４８９８ — ２０１７